要測(cè)量線性軸的定位精度、重復(fù)定位精度和反向間隙等數(shù)據(jù)，需要使用激光測(cè)量系統(tǒng)的以下組件，主要有：XL 激光頭、三腳架和云臺(tái)、XC 環(huán)境補(bǔ)償單元、空氣溫度傳感器和材料溫度傳感器、線性測(cè)量光學(xué)鏡組、光學(xué)鏡安裝組件及安裝激光測(cè)量軟件的計(jì)算機(jī)。

　　機(jī)床激光干涉儀的信號(hào)時(shí)交流信號(hào)，因而對(duì)于激光干涉儀來(lái)說，可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大，這樣，即使光強(qiáng)衰減90%，依然可以得到合適的電信號(hào)。該產(chǎn)品可以在恒溫，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊，量桿，刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等，也可以在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定。

　　如果測(cè)量光路長(zhǎng)度改變（角E反射鏡C移動(dòng)），干涉光束的相對(duì)相位將改變，由此產(chǎn)生的相長(zhǎng)干涉和相消干涉的循環(huán)將導(dǎo)致疊加光束強(qiáng)度的明暗周期變化。角錐反射鏡每移動(dòng)316nm，就會(huì)出現(xiàn)一個(gè)光強(qiáng)變化循環(huán)（明—暗—明）通過計(jì)算這些循環(huán)來(lái)測(cè)量移動(dòng)。通過在這些循環(huán)之間進(jìn)行相位細(xì)分，實(shí)現(xiàn)更高分辨率（1nm）的測(cè)量。

　　機(jī)床激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。

　　在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有*的精度和效率，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。