產品原理是采用白光共聚焦色差技術，利用白光點光源，光線經過透鏡后產生色差，不同波長的光分開后入射到被測樣品上。位于白光光源的對稱位置上的超靈敏探測器系統(tǒng)用來接收經被測點漫反射后的光。根據準共聚焦原理，探測器系統(tǒng)只能接收到被測物體上單點反射回來的特定波長的光，從而得到這個點距離透鏡的垂直距離。再通過點掃描的方式可得到一條線上的坐標，即X-Z坐標，以S路徑獲得物體每個點的三維X-Y-Z坐標。將采集的三維坐標數據交給三維處理軟件進行各種表面參數的分析。

　　形貌儀的校準方法：

　　1、三維形貌校準：這一校準都和形貌測量的“高度”結果相關，所以稱為三維校準。主要包括對干涉物鏡參考面形貌誤差的標定；以及使用標準臺階塊對臺階高度測試精度校準。

　　2、二維光強校準：這一校準和成像視場范圍內的“光強”信號相關。設備有一些功能，可以增強用戶對樣品表面觀察效果。比如在某觀測模式下，可以自動去除視場中黑白條紋，更清楚地觀測表面紋理；真彩模式可以復現表面彩色信息。

　　由于以上功能相關標定都只涉及“光強”，不涉及到形貌高度，所以稱為二維光強校準。

　　3、橫向校準：形貌儀這一校準是為了標定在當前設置下，每個像素在橫向上代表的尺寸大小。