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SuperViewW系列高精密光學(xué)輪廓測量儀由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成。用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。

SuperViewW1半導(dǎo)體薄膜光學(xué)輪廓無損檢測儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。

SJ5760-PR高精度輪廓尺寸測量儀是全自動(dòng)檢測儀器，所以在測量時(shí)只需要檢定人員簡單操作即可完成對工件的測量。測量精度高，量程大，測量速度快，智能化應(yīng)用與檢定軟件相結(jié)合，保護(hù)測針和測量系統(tǒng)，儀器操作靈活自如，可以大大提高測量工作效率。

中圖儀器W1光學(xué)全自動(dòng)三次元輪廓測量儀采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高，且其隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng)，消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復(fù)性。

?輪廓形狀測量儀SJ5700是測量輪廓形狀及表面粗糙度的一體機(jī)，具備分析測量輪廓形狀和表面租糙度的強(qiáng)大功能。實(shí)現(xiàn)尺寸、形狀、粗糙度三個(gè)要素的精準(zhǔn)測量。用于測量各種零件的直線度、傾斜度、角度處理、圓度處理、雙溝處理、雙圓弧處理等機(jī)械零件表面微觀幾何結(jié)構(gòu)和宏觀幾何形狀的參數(shù)。

中圖儀器SJ5700精確輪廓測量儀采用高精度納米光柵測量系統(tǒng)，X/Y/Z軸分辨力可達(dá)0.001μm，測量精度高；采用高精度導(dǎo)軌系統(tǒng)，導(dǎo)軌直線度高，導(dǎo)軌材料耐磨性好、保證系統(tǒng)穩(wěn)定可靠工作；高性能伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，保證測量穩(wěn)定性高、重復(fù)性好。