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中圖儀器3d光學(xué)檢測(cè)輪廓儀可測(cè)量程范圍內(nèi)的三維尺寸，不過(guò)主要還是用于檢測(cè)樣品表面的粗糙度、臺(tái)階高、微觀(guān)幾何輪廓等參數(shù)。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3d輪廓儀設(shè)備載物臺(tái)（XY）局部位移精度和線(xiàn)性精度為亞微米，Z向運(yùn)動(dòng)精度可達(dá)數(shù)納米，線(xiàn)性精度可達(dá)亞納米級(jí)別。

中圖儀器3d形貌輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)數(shù)據(jù)處理與分析的光學(xué)測(cè)量?jī)x器?？蓽y(cè)各類(lèi)從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀(guān)幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器3d輪廓檢測(cè)儀讓輪廓測(cè)量?jī)r(jià)格變實(shí)惠，適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、臺(tái)階高度、粗糙度、表面缺陷、磨損情況、孔隙間隙、腐蝕情況、波紋度、面形輪廓、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

W1光學(xué)輪廓儀是通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌，分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡(jiǎn)便，可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。專(zhuān)用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。

3d光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度、輪廓等參數(shù)的測(cè)量。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類(lèi)精密工件表面質(zhì)量要求高的領(lǐng)域中。