中圖儀器臺式掃描電鏡儀器運用了快速抽放氣設計,讓用戶在使用時不再等待,且全系列可選配低真空系統(tǒng),以便精準調(diào)節(jié)樣品倉內(nèi)真空度,滿足不同樣品的觀測需求。此外,該系列電鏡也可通過加裝各類探頭和附件,滿足用戶的拓展性需求,這使其在材料科學、生命科學、納米技術(shù)、能源等多個領域得到了廣泛應用。
CEM3000系列中圖儀器掃描電鏡設備在工業(yè)領域展現(xiàn)出廣泛的應用價值,標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng),能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求,實現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。
國產(chǎn)中圖共焦顯微鏡主要用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。它以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎,結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設計和3D重建算法,共同組成測量系統(tǒng),保證儀器的高測量精度。
NS系列納米級臺階儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測量。
SuperViewW白光干涉3D形貌儀可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
中圖SEM鎢燈絲掃描電子顯微鏡操作系統(tǒng)簡單,樣品一鍵裝入,自動導航和一鍵出圖能力(自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度)幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像,大大提升了使用效率。
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