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VT6000系列共聚焦大傾角粗糙度測量顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

中圖儀器CEM3000自主研發(fā)臺式掃描電鏡采用的鎢燈絲電子槍，發(fā)射電流大、穩(wěn)定性好，以及對真空度要求不高。臺式電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結(jié)果。

NS系列精密接觸式臺階儀是一款為高精度微觀形貌測量設(shè)計的超精密接觸式儀器，通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作，結(jié)合亞埃級分辨率（5 Å）與智能化分析軟件，可精準(zhǔn)測量臺階高度（納米至1050μm）、表面粗糙度（Ra、Rz等參數(shù)）、膜層厚度及應(yīng)力分布，為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。

CEM3000系列桌面型掃描電鏡設(shè)備采用的鎢燈絲電子槍，發(fā)射電流大、穩(wěn)定性好，以及對真空度要求不高，使得鎢燈絲臺式掃描電鏡能夠在較短的時間內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的工作狀態(tài)并獲得清晰的圖像，從而提高了檢測效率，節(jié)省了時間成本，特別適用于需要快速獲取結(jié)果的應(yīng)用場景，如工業(yè)生產(chǎn)中的質(zhì)量控制、快速篩選樣品等。

SuperViewW白光形貌干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測量單個精細(xì)器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

中圖納米成像掃描電鏡采用鎢燈絲電子槍，其電子槍發(fā)射電流大、穩(wěn)定性好，以及對真空度要求不高，使得鎢燈絲臺式掃描電鏡能夠在較短的時間內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的工作狀態(tài)并獲得清晰的圖像，從而提高了檢測效率，節(jié)省了時間成本。