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VT6000材料生產(chǎn)用共聚焦顯微鏡在材料生產(chǎn)領域中，結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，可在短時間(約幾秒)內(nèi)準確量測物體的三維數(shù)據(jù)。是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。

中圖儀器VT6000系列共聚焦激光掃描顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng)，儀器測量精度高；儀器的隔震設計能夠消減底面振動噪聲，在大部分的環(huán)境中穩(wěn)定可靠，具有良好的測量重復性。是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。

中圖儀器3d白光光學干涉儀SuperViewW1雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設計，既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗У恼駝樱瑫r內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動，確保儀器在車間也能正常工作。

VT6000系列共聚焦掃描顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

SuperViewW1白光干涉儀三維顯微鏡以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。

中圖儀器VT6000共焦顯微鏡是一款以共聚焦技術(shù)為原理、用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。可對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，從而獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)。